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  • 洁净烤箱

    洁净烤箱也称为无尘烘箱,主要通过空气过滤器来净化环境,避免空气中的细小颗粒物进去箱内。箱内空气封闭自循环,经100级耐高温高效空气过滤器反复过滤,使工作室内处于无尘状态。无尘烘箱适用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用现在联系

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